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在直空環境中，產生和控制運動需仔細考慮材料，平臺結構和操作溫度。因為當直空室被真空泵抽成負壓時，產生排氣，影響運動控制功能；同時，稀薄的空氣意味著要使用其它的冷卻方法，以避免電機產生的熱量影響正常工作。

    真空度指氣壓小于標準大氣壓強的情況，一般使用術語“托”來表示。1托=1/760大氣壓強(空氣在00C，海平面高度時的大氣壓強)，各種直空度等級定義如下：

    低真空度1～760托
    中真空度10-3～1托
    高真空度10-8～10-4托
    超高真空度10-11～10-9托
    特超高真空度<10-11托

材料和平臺構造
    雖然每個真空應用情況可能發生變化，考慮在真空中允許使用的材料時，有一些基本的指導方針在運動系統的結構設計中必須遵循。如今大部分直線和旋轉平臺使用鋼或不銹鋼的軸承結構，平臺機架一般用鋁或鑄鐵，驅動裝置幾乎總是使用鋼或不銹鋼材料，螺母為銅螺母或鋼球螺母。

    在運動系統定義說明時，所有涉及平臺機械結構和材料選擇的問題都是很嚴格的，雖然大多數平臺在真空中使用低摩擦滾珠或滾柱軸承結構，但軸承的結構首先要基于特殊運動要求的考慮。一般來說，盡管很難，使用再循環滾珠軸承配置，如哥特式拱形結構類型，因為軸承溝槽中有相當多的塑料，盡管一些真空環境允許使用塑料特氟倫(聚四氟乙烯)，大多數其它塑料在真空中被禁用，為了產生平滑，精確的運動，由鋼或不銹鋼制成的精密十字交叉滾柱軸承，對于在真空環境下是非常理想的選擇， 十字交叉滾柱提供最小的摩擦，相對于其它機械軸承來說它可以消除發熱，卻只需要最少量的系統維護。此外，性能作為關鍵因素時，十字滾柱軸承與其它機械軸承相比，具有****水平的剛度和精度。

    真空環境達到高真空度水平但限制在10-6托時，一般允許較寬的材料選擇范圍，特氟綸、酚醛樹脂、尼龍和其它非金屬材料可以利用。超過10-7托，到10-4托的超高真空度水平，材料將被限制于鋼、不銹鋼(大約300系列)、鋁、銅、鎳、陶瓷和鈦金屬。
注：銅和鎳不太好，因真空需烘培。

    當真空泵抽真空時，這個排氣的過程依賴于材料的滲漏情況，這不僅影響基本材料的精選，而且影響光潔度的處理方法，鋁或鑄鐵的平臺結構一般是可以使用的。然而鑄鋁和陽極化鋁就應避免。鑄鋁是能滲漏的材料，將妨礙真空泵的工作效率。陽極化將漏氣和污染真空。更適宜的是，平臺結構采用裸鋁或鑄鐵(若允許，也可表面鍍鎳)。

    驅動裝置，無論普通絲杠或是滾珠絲杠也要正確選取。許多滾珠絲杠在螺母內使用塑料作擦試器或導向器。此外，特氟倫材料的擦試器是可取的，但其它塑料的則不可用。鋼或不銹鋼普通絲杠一般使用青銅(鋁、磷化物或含油軸承合金)或Turcite螺母。在多數真空應用中，這是個應用特例，因為有些真空環境允許用青銅或Turcite。

    在真空中最應該考慮限位開關和電子設備，特別是位置反饋裝置如編碼器，所有電纜都必須是特氟倫包皮，然而限位開關和編碼器經常有些其它不能與真空環境相容的材料，貝賽德Micro slide使用的磁致開關，已經在真空中應用中得到驗證。線性編碼器除去橡膠密封和更換具有特氟倫包皮的電纜就能在真空中使用。多數編碼器(線性或旋轉)內都有電子裝置，它們被安裝在酚醛樹脂板上，需根據真空水平適當考慮。當真空度在10-7托以內時，Micro slide的線性編碼器(RSF)可以使用。

    在真空中，馬達和其它電子裝置需要考慮的相似的問題，步進電機用的比較普遍，因他們能開環操作(沒有位置反饋)，但它又同為真空環境準備一臺