摘要：設計了一種新型的超薄型微超聲波電機，該微電機定子是一個帶有4個剁齒的扁網環，在交流電壓的激勵F同環做駐波振動，4個斜肯將徑同振動轉換成轉子的旋轉運動，屬于模態轉換型。此種電機定了厚度小，適合采用傳統的線切割加工，加工要求低。加工出來的定子尺寸僅6 5mm×6mm，厚1mm。電機的T作頻率為50 5kHz，在激勵電壓為300vpp時，空載轉速為320rmin，堵轉力矩為5 5uNm。

    關鍵詞：超聲波電機；薄型；模態轉換

0引言

    隨著MEMs技術發展，毫米jt度的超聲微電機以其高能量／體積比密度，輸出低速大力矩，不需減速機構以及結構簡單等特點逐漸成為該領域的研究熱點。從結構和lⅢl_藝方法上，這種超聲旋轉微電機分類如圖l所示。

超盧旋轉微電機、棒形彎曲搖頭微電機<棒形彎曲搖頭行波微電機