本發明屬于微機械、微電機系統技術、光刻、微細加工技術(德文縮寫:光刻、電鑄、塑鑄)技術領域,更適合似技術產品制造,特別是指一種微型磁力步進電機的制造方法 。 微型磁力步進電機是微系統的重要執行元件,該發明提出了利用常規八技術,深度加工技術負性光敏膠、正性光敏膠制造微電機的一種方法。本發明結合00 八技術和深度微加工技術的特 點,提出了一種微型磁力步進電機的結構和裝配方案。其核心是微型磁 力步進電機的定子制造技術,該技術釆用了上表面套刻技術,使分散的 定子通過該技術很好地連接起來,從而能夠作為一個完整的部件進行裝配。該發明采用了微細加工技術來制造電機的轉子,定子和蓋板等關鍵部件,與傳統的精密加工技術(車,銑,磨等)有著本質的區別。由于微加工技術本身的特點,轉子,定子及蓋板的結構圖形可以任意設計, 幾乎不受限制,它們的尺寸精度和位置精度也能夠很好地保證 。
本發明的目的是,提供了一種微型磁力步進電機的制造方法,該方法可以制造出外形尺寸在毫米量級的磁力步進電機,電機的步進角可以根據需要進行設計和調整;具有工藝簡單、精度高和批量生產的優點 。
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