本發(fā)明屬于微機(jī)械、微電機(jī)系統(tǒng)技術(shù)、光刻、微細(xì)加工技術(shù)（德文縮寫：光刻、電鑄、塑鑄）技術(shù)領(lǐng)域，更適合似技術(shù)產(chǎn)品制造，特別是指一種微型磁力步進(jìn)電機(jī)的制造方法 。 微型磁力步進(jìn)電機(jī)是微系統(tǒng)的重要執(zhí)行元件，該發(fā)明提出了利用常規(guī)八技術(shù)，深度加工技術(shù)負(fù)性光敏膠、正性光敏膠制造微電機(jī)的一種方法。本發(fā)明結(jié)合00 八技術(shù)和深度微加工技術(shù)的特  點(diǎn)，提出了一種微型磁力步進(jìn)電機(jī)的結(jié)構(gòu)和裝配方案。其核心是微型磁 力步進(jìn)電機(jī)的定子制造技術(shù)，該技術(shù)釆用了上表面套刻技術(shù)，使分散的 定子通過(guò)該技術(shù)很好地連接起來(lái)，從而能夠作為一個(gè)完整的部件進(jìn)行裝配。該發(fā)明采用了微細(xì)加工技術(shù)來(lái)制造電機(jī)的轉(zhuǎn)子，定子和蓋板等關(guān)鍵部件，與傳統(tǒng)的精密加工技術(shù)（車，銑，磨等）有著本質(zhì)的區(qū)別。由于微加工技術(shù)本身的特點(diǎn)，轉(zhuǎn)子，定子及蓋板的結(jié)構(gòu)圖形可以任意設(shè)計(jì)，  幾乎不受限制，它們的尺寸精度和位置精度也能夠很好地保證 。 

     本發(fā)明的目的是，提供了一種微型磁力步進(jìn)電機(jī)的制造方法，該方法可以制造出外形尺寸在毫米量級(jí)的磁力步進(jìn)電機(jī)，電機(jī)的步進(jìn)角可以根據(jù)需要進(jìn)行設(shè)計(jì)和調(diào)整；具有工藝簡(jiǎn)單、精度高和批量生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn) 。